为满足国外用户对FE-2100RMD多极磁环测试能力考察，较细致的进行了测试实验，并对数据进行分析总结，基本上达到理想效果，通过实验总结，后期对产品的出厂可参考来用作为检验标准，在掌握自身产品测试能力的同时，保证产品测试精度和一致性。
多极磁环极宽测试考核步骤
1、选取磁环八极样品，随机标注四个测试大致位置，用于取放样品测试考核使用；
2、参考样品所带卡簧，用它作为安装到卡盘上的止位高度；
3、装入卡盘，以卡簧为参考，确保探头回位测试点在一个水平面上。
四、调节探头到环中部，设定测试点位置和停机点位置，开始测试（芯片距离磁环壁0.3mm）。
五、随机按要求控制高度安装连续测试4次，对应各磁极分布对应情况
1、4次叠加考核设备对应固定位置重复性如下图：
2、峰值*大值**偏差：2Gs，磁场*小值**偏差：0Gs；平均值*大偏差：1Gs；
3、磁极*大极宽**偏差：0.02°，磁极*小极宽**偏差：0.03°；
4、四次各磁极极宽对应表如下（单位°）：
|
次数
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
|
1
|
44.83
|
45.13
|
44.74
|
45.5
|
45.08
|
45.23
|
44.66
|
44.83
|
|
2
|
44.82
|
45.13
|
44.75
|
45.5
|
45.08
|
45.21
|
44.68
|
44.83
|
|
3
|
44.83
|
45.13
|
44.73
|
45.51
|
45.09
|
45.21
|
44.66
|
44.84
|
|
4
|
44.81
|
45.14
|
44.73
|
45.52
|
45.07
|
45.23
|
44.65
|
44.85
|
5、各磁极宽度在极坐标中获得
六、移开探头取出样品，旋转一个角度安装，探头自动回位重新连续测试5次，对应各磁极分布对应情况
1、五次叠加考核设备对应固定位置重复性
2、峰值*大值**偏差：1Gs，磁场*小值**偏差：2Gs；平均值*大偏差：1Gs；
3、磁极*大极宽**偏差：0.02°，磁极*小极宽**偏差：0.02°；
4、五次各磁极极宽对应表如下（单位°）：
|
次数
|
1(S)
|
2(N)
|
3(S)
|
4(N)
|
5(S)
|
6(N)
|
7(S)
|
8(N)
|
|
1
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
|
2
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
|
3
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
|
4
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
|
5
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
七、移开探头取出样品，旋转下一个角度安装，探头自动回位重新连续测试5次，对应各磁极分布对应情况
1、五次叠加考核设备对应固定位置重复性
2、峰值*大值**偏差：1Gs，磁场*小值**偏差：2Gs；平均值*大偏差：2Gs；
3、磁极*大极宽**偏差：0.03°，磁极*小极宽**偏差：0.04°；
4、五次各磁极极宽对应表如下（单位°）：
|
次数
|
1(S)
|
2(N)
|
3(S)
|
4(N)
|
5(S)
|
6(N)
|
7(S)
|
8(N)
|
|
1
|
45.3
|
44.67
|
44.83
|
44.61
|
45.05
|
44.79
|
45.45
|
45.3
|
|
2
|
45.3
|
44.67
|
44.8
|
44.63
|
45.05
|
44.78
|
45.46
|
45.3
|
|
3
|
45.25
|
44.72
|
44.8
|
44.61
|
45.08
|
44.76
|
45.47
|
45.31
|
|
4
|
45.27
|
44.7
|
44.82
|
44.59
|
45.09
|
44.76
|
45.45
|
45.29
|
|
5
|
45.29
|
44.7
|
44.83
|
44.6
|
45.06
|
44.78
|
45.46
|
45.28
|
八、移开探头取出样品，旋转下一个角度安装，探头自动回位重新连续测试5次，对应各磁极分布对应情况
1、五次叠加考核设备对应固定位置重复性
2、峰值*大值**偏差：2Gs，磁场*小值**偏差：2Gs；平均值*大偏差：1Gs；
3、磁极*大极宽**偏差：0.02°，磁极*小极宽**偏差：0.03°；
4、五次各磁极极宽对应表如下（单位°）：
|
次数
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
|
1
|
44.89
|
44.97
|
44.55
|
45.05
|
44.78
|
45.51
|
45.09
|
45.3
|
|
2
|
44.88
|
44.97
|
44.59
|
45.01
|
44.8
|
45.48
|
45.12
|
45.15
|
|
3
|
44.86
|
44.99
|
44.58
|
45
|
44.82
|
45.48
|
45.11
|
45.16
|
|
4
|
44.84
|
45.01
|
44.56
|
45.03
|
44.79
|
45.5
|
45.09
|
45.18
|
|
5
|
44.87
|
44.98
|
44.56
|
45.04
|
44.78
|
45.51
|
45.08
|
45.18
|
九、磁极对应整体数据
|
次数
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
|
1
|
44.83
|
45.13
|
44.74
|
45.5
|
45.08
|
45.23
|
44.66
|
44.83
|
|
44.82
|
45.13
|
44.75
|
45.5
|
45.08
|
45.21
|
44.68
|
44.83
|
|
44.83
|
45.13
|
44.73
|
45.51
|
45.09
|
45.21
|
44.66
|
44.84
|
|
44.81
|
45.14
|
44.73
|
45.52
|
45.07
|
45.23
|
44.65
|
44.85
|
|
2
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
|
3
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
|
4
|
44.61
|
45.05
|
44.79
|
45.45
|
45.3
|
45.3
|
44.67
|
44.83
|
|
44.63
|
45.05
|
44.78
|
45.46
|
45.3
|
45.3
|
44.67
|
44.8
|
|
44.61
|
45.08
|
44.76
|
45.47
|
45.31
|
45.25
|
44.72
|
44.8
|
|
44.59
|
45.09
|
44.76
|
45.45
|
45.29
|
45.27
|
44.7
|
44.82
|
|
44.6
|
45.06
|
44.78
|
45.46
|
45.28
|
45.29
|
44.7
|
44.83
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
*大值
|
44.83
|
45.14
|
44.88
|
45.71
|
45.3
|
45.3
|
44.74
|
44.85
|
|
*小值
|
44.59
|
44.97
|
44.73
|
45.45
|
45.07
|
45.12
|
44.66
|
44.8
|
|
偏差
|
0.24
|
0.17
|
0.15
|
0.26
|
0.23
|
0.18
|
0.08
|
0.05
|
多极磁环极宽测试考核结论：
1、设备测试前进行过同心度检验，偏差0.05mm；
2、样品直径：38.05mm，圆度偏差：0.02mm（38.04~38.06mm）
3、经过取放四次，重新安装，探头回位测试，主要考察磁极宽度，峰值可参考原始数据。
4、磁极宽度偏差不超过0.3°。
